MS-2000 XYZ電動ステージは、Applied Scientific Instrumentation (ASI)社)製で、既存の光学顕微鏡に
取り付けることが可能な高精度の電動ステージコントローラーです。
高解像度ロータリーエンコーダー採用のクローズドループDCサーボモーターにより高い繰り返し精度を提供します。
電動ステージの制御は専用のコントローラーによって行いますが、付属制御用ソフトウェアにより
RS-232もしくはUSB接続にてPC上から制御することが可能です。
特徴
・ クローズドループDCサーボ・コントロールによる正確なポジショニングおよび高い再帰性能
仕様 (6.35mmピッチ送りねじ使用時)
XY軸ストローク | 100 mm x 100 mm |
XY軸分解能 | 0.083 μm |
XY軸再現性 | < 0.7 μm |
XY軸最大移動速度 | 7 mm/sec |
Z軸分解能 | 0.05 μm |
Z軸再現性 | ± 0.1 μm |
Z軸最大移動速度 | 0.6 mm/sec |
オプション
・ 高精度なポジショニングおよびフォーカシング制御のためのXYZ軸リニアエンコーダー
・ マイクロマニピュレータ等を取り付けるための大型ステージトッププレート
・ さらなる追加アタッチメントのためのステージウイング
・ オートフォーカスモジュール
・ 異なるピッチの送りねじ
送りねじオプション
ピッチ | ロータリーエンコーダースケール | 最高速度 |
---|---|---|
12.70 mm | 176 nm | 14 mm/秒 |
6.35mm (スタンダード) | 88 nm | 7 mm/秒 |
1.57 mm | 22 nm | 1.75 mm/秒 |
0.318 mm | 4.4 nm | 0.35 mm/秒 |
リニアエンコーダーオプション
軸 | 解像度 | スケール精度 |
---|---|---|
XY | 20 nm | 0.0025 μ/mm |
Z (12mmおよび25mmストローク) | 50 nm | 0.025 μ/mm |
MS-2000付属制御用ソフトウェア 「Motion-XYZ」
MS-2000付属の制御用アプリケーション「Motion-XYZ」ではRS-232 もしくはUSB接続によりPC上からXYZ軸の制御、XY座標値の制御、 任意地点へのすばやい移動およびステップ移動など、検鏡作業効率の 向上に欠かせない機能を持っています。 Motion-XYZの主な機能 ・ XY軸の制御(絶対座標、移動距離) ・ XYZ軸の座標位置計測 ・ 任意距離、任意範囲のステップ移動 ・ 直感的にステージを操作することができるマウスコントロール機能 ・ レンズの視野数に応じた、自動ステップ移動機能 ・ XYステージの各種パラメータ設定 ・ ジョイスティックのパラメータ設定 |
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